高品质光学元件与智能软件和数学相结合

我们之所以与众不同,是因为我们是企业有价值的技术合作伙伴,特别是在照明、投影、光路、图像采集和图像处理等方面的结合对于准确定位至关重要, 这有助于提升客户的国际表现。

如今高科技模块对精确定位的性能要求越来越高,例如,降低关键尺寸和可重复性等等时,机械解决方案通常行不通或过于昂贵。 将高质量光学组件与智能软件及应用数学相结合,用于校准和过程测量,这对于最新的微米或纳米级如印刷和定位系统的精度至关重要。 而苏科思在该领域拥有独特的知识和经验。

Liteq

Sioux为Liteq的后端步进式光刻机开发了完整的计量模块。该系统包括晶圆(预)对准,标线片(预)对准,液位传感器和聚焦传感器。使用标记接合图像识别和图像处理对准传感器。对于液位传感器,结合三角测量方法使用LED光路。对于聚焦传感器,在聚焦场中采样10 KHz的发光二极管以确定最佳值。通过这种光学计量,可以实现小于2微米的临界尺寸和小于500纳米的覆盖层。

知识领域

  • 基材检查
    • 光学传感器
    • 距离,位置和方向测量
  • 光学传感器
    • 运动中轴的直线度或偏向校准
    • 系统性偏差校准
  • 半导体行业
    • 晶圆检查,过程监控和位置测量
    • 印刷工业中的PCB基板检查,过程监控和位置监测
    • 印刷业中的网线检查,过程监控和位置监测
    • 医疗行业的玻璃载玻片位置检查,过程监控和位置监测
    • 制药行业的低温托盘位置检查,过程监控和位置监测

技术领域

  • 眼科光学
  • 最佳对比度照明
  • 显微镜、荧光
  • 使用Zemax的镜头设计
  • 用于测量距离和位置的光学传感器
  • 激光干涉测量

苏科思是光学计量模块中光源、光路、传感器和相应校正算法应用的专家。 新机器开发伊始,我们就依靠丰富的机械,电子,校准和过程测量知识,着眼项目所需的精度。 苏科思还了解销售标准测量系统及超快速数据处理传感器所需的条件。 比如,我们可以使用快速计算单元和先进的应用数学控制技术最大程度地检测运动轨迹,如有需要,苏科思还可自主开发新的传感器和相关的数据处理组件。

苏科思是一家全球领先的、为柔性基材快速索引定位提供高效、快速开发创新解决方案的企业。
‘苏科思是一家全球领先的、为柔性基材快速索引定位提供高效、快速开发创新解决方案的企业。’

Joep Stokkermans, ITEC(Nexperia前身为NXP的子公司)研发经理。

创新速度

创新的速度是公司在市场上取得成功的关键。苏科思希望为客户的高科技设备打造良好的开端。 因此,我们开发了许多高科技内部解决方案。

  • 通过使用内插分辨率为2.8微米的行扫描摄像头系统以及相关的实时图像处理,可以进行24"的PCB检查。
  • 用分辨率为5微米的多色校正视力镜片进行晶圆检查。 镜头是远心镜头,可最大程度地减小放大倍率误差。 同轴照明具有3种LED颜色,分别为蓝色457nm,绿色525nm和红色622nm,并接受±2°的基板倾斜度,而不会降低图像质量。
  • 在平坦基板上的颗粒检测> 0.2µm。

通过这种方式,加快客户在模块和整机解决方案上的速度、提高质量、降低成本效率及缩短上市时间。

项目案例

ORTHOPROOF

Sioux为Orthoproof开发了全新的、用于3D义齿模型的工作流,扫描,建模,分析和打印的自动化系统。通过激光的栅格投影,可以使用图像分析和三角测量技术以约10µm的精度制作人类牙齿的3D图像。通过感应器和精准定位算法,扫描仪可精准定位。

希捷

硬盘驱动器对生产和使用过程中可能损坏表面的灰尘颗粒非常敏感。在生产过程中-除了进行清洁操作外-快速,彻底和经济高效的中间粉尘检查对于提高竞争力至关重要。苏科思为希捷开发了一种粒子扫描仪,可以检测0.35µm及更大的粉尘颗粒。使用这种定制的光学工具,可以传递发现的颗粒的大小和位置传递以便清洁。市售的粒子扫描仪有时可以检测到较小的粒子,但价格昂贵且速度较慢。