Planair bewegen

Als objecten tot maximaal 20 [Kg] met een nauwkeurigheid van één micrometer of beter gepositioneerd moeten worden, dan heeft Sioux CCM een planaire motor beschikbaar. 

Technologie

  • Licht en stijf construeren

  • Lineaire motoren

  • Luchtlagering

  • 2D grid optische sensors

  • Vibratie eliminatie

  • Vloer trilling isolatie

Prestatie

Beweging 350x350 [mm], 1 [m/s], 5[m/s2]
Reproduceerbare servo position:
X,Y ± 1 [µm], Rz ± 5 [µrad]