Hoogwaardige optische componenten combineren met slimme software en mathware

Sioux onderscheidt zich als een waardevolle technologiepartner voor bedrijven, juist waar het samenspel van belichting, projectie, licht, beeldacquisitie en beeldverwerking essentieel is voor nauwkeurige positionering. Daarmee helpen we opdrachtgevers immers beter te presteren op hun internationale markten.

Waar de eisen aan nauwkeurige positionering door hightech-modules steeds verder worden verlegd, zijn mechanische oplossingen vaak onvoldoende of te duur. Het combineren van hoogwaardige optische componenten met slimme software en mathware voor kalibratie en procesmetingen zijn dan cruciaal voor de laatste micro- of nanometers accuratesse van print- en positioneringssystemen. Op dit vlak heeft Sioux unieke kennis en ervaring.

MuTracx

MuTracx ontwikkelt en produceert machines die resist maskers op 24” PCB platen print. Sioux ontwikkelde een 24” brede linescan camera: het hart van de machine voor metrology en inspectie. De scanner heeft een 2.8 µm sub-pixel resolutie met bijbehorende realtime dataprocessing en is in staat om tweehonderd panelen per uur te scannen. Op deze manier wordt de honderd procent kwaliteit en de hoge precisie van het geprinte masker gerealiseerd.

Kennisdomeinen

  • Optische sensoren voor:
    • Inspectie van substraten
    • Afstand, positie en oriëntatie metingen
  • Kalibratie (metrology) van:
    • Rechtheid of scheefstand van bewegingsassen
    • Systematische afwijkingen
  • Inspectie, procesbewaking en positiemeting van:
    • Wafers in de halgeleider industrie
    • PCB substraten in de print industrie
    • Web positie in de print industrie
    • Glass slides in de medische industrie
    • Cryogenic Trays in de farmaceutische industrie

Technologische domeinen

  • Vision lenzen
  • Verlichting voor optimaal contrast
  • Microscopie, fluorescentie
  • Lens design met Zemax
  • Optische sensoren voor het meten van afstand en positie
  • Laser interferometrie

Sioux is de specialist in het toepassen van optische bronnen, lichtpaden, sensoren en bijbehorende correctie-algoritmes in optical metrology modules. Vanaf de allereerste ontwikkelstadia van nieuwe machines stellen we de vereiste nauwkeurigheid centraal. Daarbij leunen wij op onze enorme kennis over mechanica, elektronica, kalibratie en procesmetingen. Sioux weet bovendien wat er te koop is aan standaard meetsystemen en wat er nodig is om sensordata ultrasnel te verwerken. Zo kunnen we - met behulp van snelle rekenunits en geavanceerde regeltechnische mathware - bijvoorbeeld de dynamiek van bewegingen maximaliseren. Indien nodig ontwikkelt Sioux zelf een nieuwe sensor en de daarbij behorende signaalverwerkingseenheid.

Sioux is een wereldspeler in ontwikkelen van een innovatieve oplossing voor het zeer snel geïndexeerd positioneren van flexibel substraat.
‘Sioux is een wereldspeler in ontwikkelen van een innovatieve oplossing voor het zeer snel geïndexeerd positioneren van flexibel substraat.’

Joep Stokkermans, R&D Manager ITEC, en onderdeel van Nexperia (voorheen NXP).

Innovatiesnelheid

Innovatiesnelheid is key voor het marktsucces van bedrijven. Sioux wil haar klanten dan ook een vliegende start bieden bij het creëren van nieuwe hightech-equipement. Daarom hebben we een aantal ver uitgewerkte oplossingen in eigen huis ontwikkeld.

  • PCB inspectie tot 24” breedte met behulp van een linescan camera systeem met 2.8 µm geïnterpoleerde resolutie en bijbehorende realtime image processing.
  • Wafer inspectie door een multi-color gecorrigeerde vision lens met een resolutie van 5 µm. De lens is telecentrisch om vergrotingsfouten te minimaliseren. De coaxiale verlichting heeft 3 LED kleuren blauw 457nm, groen 525nm en rood 622nm en accepteert een substraat tilt van ± 2° zonder kwaliteitsverlies van het image.
  • Particle detectie > 0.2 µm op vlakke substraten.

Daarmee bieden we opdrachtgevers - of het nu gaat om modules of complete hightech-systemen - een voorsprong in hun business cases, in kwaliteit, kostenefficiency en hun time-to-market.

Cases

Liteq

Sioux ontwikkelde de complete metrologie module voor de backend stepper van Liteq. Het systeem omvat wafer (pre) alignment, reticle (pre) alignment, level sensor en focus sensor. Voor de alignment sensoren wordt gebruikt gemaakt van markers, in combinatie met beeld acquisitie en beeld verwerking via image processing. Voor de level sensor wordt een LED lichtpad gebruikt, in combinatie met triangulatie methodieken. Voor de focus sensor wordt een licht diode met 10 KHz bemonstert in het focus field, voor bepaling van het optimum. Middels deze optische metrologie wordt een critical dimension van < 2 micrometer en een Overlay van < 500 nanometer gerealiseerd.

Orthoproof

Sioux ontwikkelde een compleet nieuw medisch diagnoseproduct voor Orthoproof: een geautomatiseerd systeem voor workflow, scannen, modellering, analyse en printing van 3D-gebitsmodellen. Met een raster projectie van een laser, wordt via beeldanalyse en triangulatie-technieken een 3D beeld van het gebit gemaakt met een nauwkeurigheid van zo’n tien µm. De scanner weet waar hij is door gebruikt te maken van accelerometers en nauwkeurige stitching-algoritmes.

Seagate

Harde computerschijven zijn erg gevoelig voor stofdeeltjes die schade aan het oppervlak kunnen geven tijdens productie en gebruik. Tijdens de productie is - naast schoon werken - een snelle, grondige en kostenefficiënte tussentijdse inspectie op stof cruciaal om concurrerend te zijn. Sioux ontwikkelde een particle scanner voor Seagate die stofdeeltjes vanaf 0.35 µm kan detecteren bij een hoge throughput. Met behulp van dit optische maatwerk worden de grootte en positie van gevonden deeltjes doorgegeven om cleaning mogelijk te maken. Commercieel verkrijgbare particle scanners kunnen vaak kleinere deeltjes detecteren, maar zijn veel duurder en langzamer.