Litography voor advanced packaging

De uitdaging van de klant

Lithography voor advanced packaging is niet hetzelfde als lithography voor front-end wafer processing. Er gelden andere randvoorwaarden en eisen. Zo variëren de resist-films bijvoorbeeld in dikte. Kulicke & Soffa ontwikkelde de Liteq 500, een waferstepper die flexibel is en effectief kan omgaan met deze variaties en specifieke behoeften.

De bijdrage van Sioux

Sioux ontwierp, implementeerde en testte de complete software stack voor de Liteq 500, inclusief:

de user interface;
de control software voor alle apparaten: de stage, CCD camera, illuminator, beam stabilizer, aerial image sensor en reticle robot;
de bedrijfslogica voor het bewerken van cellen op een wafer, uitwisselen en uitlijnen van wafers, gebruiken van reticles en het uitvoeren van metrologiemetingen met de projectielens en de CCD-camera;
de wiskundige algoritmen voor de metrologie;
de formele verificatie van de besturingssoftware met behulp van ASD;
de firmware voor Metrology Unit en de Illuminator Control Unit.

Resultaat

De eerste stepper van K&S Liteq is operationeel, commerciële machines worden nu verkocht.

Technologie

Windows 8, Microsoft .NET 4.5, WCF, C#, 64 bit, ASD, Sioux ESP, STM32 en C++.

Kulicke & Soffa Liteq is het eerste bedrijf dat een specifieke lithografische oplossing ontwikkelde voor de geavanceerde verpakkingsmarkt. K&S Liteq levert een innovatieve en kosteneffectieve wafer-stepper die voldoet aan de huidige en toekomstige vereisten.

Lees meer Semicon Start-up Liteq naar volgende fase onder vleugels Kulicke & Soffa