Die Kombination hochwertiger optischer Komponenten mit intelligenter Software und Mathware

Sioux ist ein wertvoller Technologiepartner für Unternehmen, bei denen das Zusammenspiel von Beleuchtung, Projektion, Licht, Bilderfassung und Bildverarbeitung für eine genaue Positionierung unerlässlich ist. Damit helfen wir Kunden, auf ihren internationalen Märkten eine bessere Leistung zu erbringen.

Wo sich die Anforderungen an eine genaue Positionierung durch Hightech-Module ständig ändern, sind mechanische Lösungen oft unzureichend oder zu teuer. Die Kombination hochwertiger optischer Komponenten mit intelligenter Software und Mathware für die Kalibrierung und für Prozessmessungen ist dann entscheidend für die letzte Mikro- oder Nanometergenauigkeit von Druck- und Positionierungssystemen. Sioux verfügt über einzigartige Kenntnisse und Erfahrungen auf diesem Gebiet.

Liteq

Sioux hat das komplette Metrologiemodul für den Backend-Stepper von Liteq entwickelt. Das System umfasst die Wafer-(Vor-)Ausrichtung, Reticle-(Vor-)Ausrichtung, den Level-Sensor und den Fokussensor. Für die Ausrichtungssensoren werden Marker in Kombination mit der Bilderfassung und der Bildverarbeitung über Image Processing verwendet. Für den Level-Sensor wird in Kombination mit Triangulationsmethoden ein LED-Lichtweg verwendet. Für den Fokussensor wird im Fokusfeld eine Leuchtdiode mit 10 KHz abgetastet, um das Optimum zu ermitteln. Bei dieser optischen Messtechnik wird eine Critical Dimension von < 2 Mikrometer und ein Overlay von < 500 Nanometer erreicht.

Wissensdomänen

  • Optische Sensoren für:
    • Inspektion von Substraten
    • Abstands-, Positions- und Orientierungsmessungen
  • Kalibrierung (Metrologie) von:
    • Geradheit oder Fehlausrichtung der Bewegungsachsen
    • Systematischen Abweichungen
  • Inspektion, Prozessüberwachung und Positionsmessung von:
    • Wafer in der Halbleiterindustrie
    • Leiterplattensubstrate in der Druckindustrie
    • Bahnposition in der Druckindustrie
    • Objektträger in der Medizinindustrie
    • Cryogenic Trays in der Pharmaindustrie

 

Technologische Domänen

  • Vision-Linsen
  • Beleuchtung für optimalen Kontrast
  • Mikroskopie, Fluoreszenz
  • Linsendesign mit Zemax
  • Optische Sensoren zur Messung von Abstand und Position
  • Laserinterferometrie

Sioux ist der Spezialist für die Anwendung von optischen Quellen, Lichtwegen, Sensoren und zugehörigen Korrekturalgorithmen in optischen Messmodulen. Bereits in den ersten Entwicklungsphasen neuer Maschinen achten wir auf die erforderliche Genauigkeit. Darüber hinaus stützen wir uns auf unsere umfassenden Kenntnisse in den Bereichen Mechanik, Elektronik, Kalibrierung und Prozessmessungen. Sioux weiß zudem, welche Standardmesssysteme verfügbar sind und was für die ultraschnelle Verarbeitung von Sensordaten erforderlich ist. Zum Beispiel können wir die Dynamik von Bewegungen mithilfe schneller Berechnungseinheiten und fortschrittlicher steuerungstechnischer Mathware maximieren. Falls erforderlich, kann Sioux einen neuen Sensor und die dazugehörige Signalverarbeitungseinheit selbst entwickeln.

Sioux ist ein Global Player bei der Entwicklung innovativer Lösungen für die extrem schnelle indexierte Positionierung eines flexiblen Substrats.
‘Sioux ist ein Global Player bei der Entwicklung innovativer Lösungen für die extrem schnelle indexierte Positionierung eines flexiblen Substrats.’

Joep Stokkermans, F&E-Manager ITEC, und Teil von Nexperia (ehemals NXP).

Innovationsgeschwindigkeit

Innovationsgeschwindigkeit ist der Schlüssel zum Markterfolg von Unternehmen. Deshalb möchte Sioux seinen Kunden einen fliegenden Start in die Entwicklung neuer Hightech-Ausrüstung bieten. Aus diesem Grundhaben wir in Eigenregie eine Reihe von detailliert ausgearbeiteten Lösungen entwickelt.

  • Leiterplatteninspektion bis zu 24 Zoll Breite mithilfe einer Linescan-Kamera mit 2,8 µm interpolierter Auflösung und zugehöriger Echtzeit-Bildverarbeitung.
  • Wafer-Inspektion durch ein mehrfarbig korrigiertes Objektiv mit einer Auflösung von 5 µm. Das Objektiv ist telezentrisch, um Vergrößerungsfehler zu minimieren. Die koaxiale Beleuchtung hat 3 LED-Farben: Blau 457 nm, Grün 525 nm und Rot 622 nm und akzeptiert eine Neigung des Substrats von ± 2° ohne Verlust der Bildqualität.
  • Partikelerkennung > 0.2 µm auf flachen Substraten.

Hiermit bieten wir Kunden - ob mit Modulen oder kompletten Hightech-Systemen - einen Vorsprung in ihren Geschäftsfällen, in Qualität, Kosteneffizienz und Markteinführungszeit.

Geschäftsfälle

Orthoproof

Sioux entwickelte für Orthoproof ein völlig neues medizinisches Diagnoseprodukt: ein automatisiertes Workflow-System zum Scannen, Modellieren, Analysieren und Drucken von 3D-Dentalmodellen. Mit einer Rasterprojektion eines Lasers wird ein 3D-Bild der Zähne unter Verwendung von Bildanalyse- und Triangulationstechniken mit einer Genauigkeit von ungefähr zehn µm erstellt. Der Scanner weiß mithilfe von Beschleunigungsmessern und präzisen Stitching-Algorithmen, wo er sich befindet.

Seagate

Computerfestplatten reagieren sehr empfindlich auf Staubpartikel, die während der Produktion und Verwendung zu Oberflächenschäden führen können. Während der Produktion ist - neben sauberem Arbeiten - eine schnelle, gründliche und kostengünstige Staubprüfung von entscheidender Bedeutung, um wettbewerbsfähig zu sein. Sioux hat für Seagate einen Partikelscanner entwickelt, der Staubpartikel ab 0,35 µm erkennen kann, und das bei hohem Durchsatz. Mithilfe dieser kundenspezifischen optischen Lösung werden Größe und Position der gefundenen Partikel übermittelt, um eine Reinigung zu ermöglichen. Handelsübliche Partikelscanner können häufig kleinere Partikel erkennen, sind jedoch viel teurer und langsamer.