Advanced-Packaging-Lithographie

Die Herausforderung des Kunden

Advanced-Packaging-Lithographie ist nicht dasselbe wie Front-End-Wafer-Processing-Lithographie. Es gelten andere Voraussetzungen und Anforderungen. Zum Beispiel variiert die Stärke der Resistfilme. Kulicke & Soffa hat den Liteq 500 entwickelt, einen Waferstepper, der flexibel ist und mit diesen Variationen und spezifischen Anforderungen effektiv umgehen kann.

Der Beitrag von Sioux

Sioux entwarf, implementierte und testete den kompletten Software-Stack für den Liteq 500, und zwar mit folgenden Komponenten:

• Benutzeroberfläche;
• Steuerungssoftware für alle Geräte: den Teller, CCD-Kamera, Illuminator, Strahlstabilisator, Luftbildsensor und Reticle-Roboter;
• Geschäftslogik zum Bearbeiten von Zellen auf einem Wafer, zum Austauschen und Ausrichten von Wafern, zum Verwenden von Reticles und zum Durchführen von Metrologiemessungen mit dem Projektionsobjektiv und der CCD-Kamera;
• mathematische Algorithmen für die Metrologie;
• formaler Überprüfung der Steuerungssoftware mittels ASD;
• Firmware für die Metrology Unit und die Illuminator Control Unit.

Ergebnis

Der erste Stepper von K&S Liteq ist in Betrieb, kommerzielle Maschinen werden ab sofort verkauft.

Technologie

Windows 8, Microsoft .NET 4.5, WCF, C#, 64 bit, ASD, Sioux ESP, STM32 und C++.

Kulicke & Soffa Liteq ist das erste Unternehmen, das eine spezielle Lithografielösung für den Advanced-Packaging-Markt entwickelt. K&S Liteq bietet einen innovativen und kostengünstigen Wafer-Stepper, der aktuelle und zukünftige Anforderungen erfüllt.